Российская компания разработала отечественный лазер для производства микросхем на 257 нанометров
22
Новосибирская фирма «Оптические системы» сообщила о создании собственной лазерной системы для нанесения шаблонов с использованием ультрафиолетового излучения при производстве микросхем. Пробная версия устройства проходит испытания на белорусском предприятии электронной промышленности «Планар», которое участвует в разработке полностью отечественного литографа. По словам разработчиков, новая система способна заменить американские лазеры Coherent с длиной волны 257 нанометров, применяемые на ...